FeCuNbSiBSiR复合薄膜在压应力下的力敏特性研究的中期报告.docxVIP

FeCuNbSiBSiR复合薄膜在压应力下的力敏特性研究的中期报告 本研究旨在研究FeCuNbSiBSiR复合薄膜在压应力下的力敏特性。本报告为中期报告，主要介绍了实验设计、制备方法以及初步实验结果。 1. 实验设计 本实验采用磁控溅射技术制备FeCuNbSiBSiR复合薄膜。制备过程中，控制不同的保持时间和衬底温度，以获得不同组成的薄膜。 实验中设计不同的应力载荷和载荷周期下的力学特性测试，通过测试力学特性以及薄膜表面形貌，初步评估薄膜的力敏特性。 2. 制备方法 实验中采用高纯度的Fe、Cu、Nb、Si、B、SiR等元素作为靶材，用氩气作为反应气体进行磁控溅射。将薄膜制备在常规聚合物衬底上。 不同组成的薄膜分别在相同的制备工艺条件下制备，但保持时间和衬底温度不同。 3. 初步实验结果 通过初步实验测试，得到以下结果： - 在应力载荷作用下，薄膜的抗拉强度随着载荷周期不断增加而降低；同时，薄膜的屈服强度也随之减弱。 - 在表面形貌方面，不同组成的薄膜表现出不同的特点。其中，高含量的Fe和SiR的薄膜表面更加平滑，而高含量的Cu和B的薄膜表面则呈现出更多的凸起和突起。 - 在薄膜的力敏特性方面，初步实验结果尚不明显，需要更多的实验数据来进行评估。 4. 结论和进一步工作 由于实验还处于中期阶段，本报告的结论还较为初步，需要更多的实验数据来证明。下一步的实验将进一步探索FeCuNbS