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平整度测量装置及其测量方法、显示装置.pdfVIP

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  • 2023-09-09 发布于四川
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平整度测量装置及其测量方法、显示装置.pdf

    本申请涉及一种平整度测量装置及其测量方法、显示装置。该平整度测量方法用于平整度测量装置，平整度测量装置包括测量平台、预设平整度标准件和光学组件，预设平整度标准件和待测量件之间具有间隙，测量平台和光学组件之间在水平方向能够相对移动，测量方法包括：获取待测量件的多个测量点位；驱动测量平台和光学组件相对移动，每次移动后使光学组件发出的光路穿过预设平整度标准件射向对应的测量点位，以得到多组干涉条纹图像；将多组干涉条纹图像对比，以得到待测量件的平整度。该平整度测量装置及其测量方法、显示装置，能够方便快速的

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116718139 A (43)申请公布日 2023.09.08 (21)申请号 202310804169.1 (22)申请日 2023.06.30 (71)申请人 惠科股份有限公司 地址 5181

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