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本发明提供了一种用于改变入射角的光路调节装置及光路调节系统，该装置中圆弧形导轨所在平面与样品台所在平面垂直，可转动镜架结构在第一方向上延伸，其第一端固定在圆弧形导轨上且基于圆弧形导轨运动，第二端沿第一方向延伸至圆弧形导轨的旋转轴，且在旋转轴上保持不变，以使可转动镜架结构绕旋转轴旋转，第一方向平行于圆弧形导轨所在平面；光源发出的第一入射光与旋转轴重合，无需改变光源的位置；并且可转动镜架结构将与旋转轴重合的第一入射光转化为第一方向上的第二入射光，不改变光的特性，第二入射光随着可转动镜架结构绕旋转轴旋
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116719146 A
(43)申请公布日 2023.09.08
(21)申请号 202310678797.X
(22)申请日 2023.06.08
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
地址 1
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