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本实用新型属于物理气相沉积镀氧化物薄膜技术领域,具体涉及一种物理气相沉积样品加热装置。其包括在密闭腔体内工作的加热元件和承载样品的载样机构,所述加热元件为碳化硅加热板。本实用新型提供的技术方案利用碳化硅加热元件,开发了一种小型价廉的氧化物镀膜用样品加热装置,可以在高氧气压环境中实现1000℃以上稳定工作,该加热装置体积小寿命长,变温迅速,温度稳定、能承受环境气压和温度的急剧变化、价格低廉,并能很方便地在真空下实施样品的更换。为氧化物薄膜的沉积生长提供了一个很好的加热手段。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210367896 U
(45)授权公告日
2020.04.21
(21)申请号 20192
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