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本发明涉及硅片生产设备技术领域，尤其涉及一种空气悬浮式接料装置及硅片接料系统，本发明在底座上设置第一悬浮弧面，在安装台上对应设置有第二悬浮弧面，第一悬浮弧面上开设有悬浮气孔，悬浮气孔吹气以将安装台悬浮在底座上，这样的设计使得安装台摆动时受到的阻力极小，接料盒则设置在安装台的上端，接料盒上设置有挡料板，硅片做抛物线轨迹运动并接触挡料板时，接料盒/安装台可相对底座摆动从而吸收了硅片的绝大部分动能，使得硅片与挡料板碰撞时，硅片自身仅吸收少量动能转换为内能，因此可以大幅降低硅片崩边、硅落、隐裂等品质异常
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116721951 A
(43)申请公布日 2023.09.08
(21)申请号 202310595166.1
(22)申请日 2023.05.24
(71)申请人 广东金湾高景太阳能科技有限公司
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