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全空间尖端结构的等离子体增强型光电探测器的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-09-10 发布于四川
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全空间尖端结构的等离子体增强型光电探测器的制备方法.pdf

    本申请实施例涉及光电子技术领域，特别涉及一种全空间尖端结构的等离子体增强型光电探测器的制备方法，包括以下步骤：在叉指电极上制备WS2薄膜，制得WS2基光电探测器；制备金纳米粒子；金纳米粒子为具有全空间尖端结构的海胆形金纳米粒子；将金纳米粒子溶于PMMA溶液，将溶于PMMA溶液的金纳米粒子集成在WS2薄膜上，制得等离子体增强型WS2基光电探测器。本申请提供的光电探测器的制备方法，通过将具有全空间尖端结构的金纳米粒子与二维薄膜材料集成，利用具有多尖端效应的海胆形金纳米粒子实现更强的LSPR效果，使二

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116722080 A (43)申请公布日 2023.09.08 (21)申请号 202311002086.7 B82Y 40/00 (2011.01) (22)申请日 2023.08.

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