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本实用新型提供一种带温度传感器的氮化物制备系统,其包括热等静压设备(1)和若干反应容器(2),反应容器(2)设置在热等静压设备(1)的内腔,反应容器(2)用于在一定的温度和压力下制备氮化物,反应容器(2)的外周设有在轴向上间隔开的第一加热器(H1)和第二加热器(H2),系统还包括第一温度传感器(S1)和第二温度传感器(S2),第一温度传感器(S1)用于测量第一加热器(H1)的加热温度,第二温度传感器(S2)用于测量第二加热器(H2)的加热温度。根据本实用新型的带温度传感器的氮化物制备系统,反应容
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210368001 U
(45)授权公告日
2020.04.21
(21)申请号 20192
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