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一种半导体加工用传输装置.pdfVIP

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  • 2023-09-11 发布于四川
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一种半导体加工用传输装置.pdf

    本实用新型公开一种半导体加工用传输装置，包括限位机构、连接板、支撑机构和吸附垫盘，所述支撑机构的上端面均匀等距固定连接有六组用于连接的连接板。本实用新型通过设置支撑机构，在进行夹持时，使用者可通过外部操控机构操控，外部转动机构向下部移动，当吸附垫盘接触到晶圆时进行吸附，此时使用者可启动外部转动机构，进而带动螺纹杆进行转动，螺纹杆能带动螺纹环向上进行螺纹转动，进而带动限位板向上部进行位移，此时限位板能通过伸缩杆与连接板和固定轴配合，带动折弯板翻转角度，当螺纹杆带动螺纹环转动越高，折弯板翻转角度越靠

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210379005 U (45)授权公告日 2020.04.21 (21)申请号 20192

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