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一种晶圆平整度自动测量装置.pdfVIP

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  • 2023-09-11 发布于四川
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一种晶圆平整度自动测量装置.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆平整度自动测量装置，包括箱体和滚珠，所述箱体的内部固定有转动座，所述转动座的顶部开设有转动槽，所述转动槽的内部转动连接有转动块，其中，所述转动座靠近转动块的一侧开设有滚珠槽。该晶圆平整度自动测量装置，设置有测量探针和传动电机，将晶圆放置在放置槽的内部，电机带动丝杆转动，丝杆通过外螺纹带动滑块在滑槽内向下移动，使滑块带动检测头向下移动，检测头带动测量探针抵住晶圆，之后启动传动电机，传动电机带动第二齿轮转动，第二齿轮通过啮合带动第一齿轮转动，第一齿轮带动转动柱转动，转动柱通过

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210375082 U (45)授权公告日 2020.04.21 (21)申请号 20192

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