原创力文档- 4
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- 2023-09-11 发布于四川
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本实用新型实施例提供一种光罩贴片装置，所述装置包括用于承载待贴片光罩的光罩承载台、用于供应垫片的供料台、用于将垫片从供料台转移并贴合至待贴片光罩上的待贴片位置的移送及贴合机构、组装于光罩承载台的上方供操作人员观察待贴片光罩上与待贴片位置具有唯一对应关系的标识点的显微镜以及与光罩承载台相连用于驱动承载有待贴片光罩的光罩承载台相应运动以将待贴片光罩上的标识点移动至显微镜的观察视野中心位置的驱动机构，显微镜的镜筒中轴线与移送及贴合机构在转移和贴合垫片时垫片中心点的移动轨迹平面的间距与待贴片位置中心点与
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210377019 U
(45)授权公告日
2020.04.21
(21)申请号 20192
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