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一种双动力自动化晶圆搬运机构.pdfVIP

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  • 2023-09-11 发布于四川
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一种双动力自动化晶圆搬运机构.pdf

    本实用新型涉及一种双动力自动化晶圆搬运机构，包括骨架固定座、皮带驱动机构、丝杆驱动机构、升降机构、回转机构和伸缩取片机构，皮带驱动机构、丝杆驱动机构均安装在骨架固定座上，升降机构通过升降机构固定底座安装在皮带驱动机构和丝杆驱动机构上，并在皮带驱动机构或丝杆驱动机构的带动下做水平移动，回转机构通过回转机构安装板与回转机构连接座的连接而装配在升降机构上，并在升降机构的带动下做升降运动，伸缩取片机构安装在回转机构上，并在回转机构的带动下做回转动作；本实用新型同现有技术相比，能够普遍应用在单片晶圆的加工

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210379004 U (45)授权公告日 2020.04.21 (21)申请号 20192

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