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本实用新型涉及到多晶硅铸锭熔化领域,是一种多晶硅的铸锭炉装置。其特征是玻璃棒穿过高温密封圈和测量加长筒到上炉体中,所述的测量加长筒的下端固定在上炉体的外壳上,测量加长筒的上端孔中装有高温密封圈,所述的测量加长筒的上端接有高温计。测量加长筒7的高度为20cm,直径为9cm。由于采用了本技术方案,增加了测量加长筒,保证多晶硅铸锭过程中测量时的安全性,同时也避免高温密封圈因玻璃棒的高温引发的变形,以及变性后导致多晶硅铸锭炉的密封破坏,最终影响多晶硅锭质量的风险。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210394594 U
(45)授权公告日
2020.04.24
(21)申请号 20192
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