HIPIMS共溅射TI-MoS2自润滑薄膜的制备与摩擦学行为研究的中期报告.docxVIP

HIPIMS共溅射TI-MoS2自润滑薄膜的制备与摩擦学行为研究的中期报告 本文报道了使用高功率脉冲电弧放电（HIPIMS）通过共溅射的方法制备Ti-MoS2自润滑薄膜，并研究了其摩擦学行为。 首先，使用HIPIMS技术在Ti基板上共溅射MoS2靶材，制备出了Ti-MoS2复合薄膜。通过SEM和XRD分析，确认了薄膜的表面形貌和结构。 接着，使用摩擦学测试仪对Ti-MoS2薄膜进行了摩擦学性能测试。结果表明，在干摩擦条件下，Ti-MoS2薄膜具有很好的自润滑性能和抗磨损性能。与未经过处理的Ti基板相比，摩擦系数降低了约60％，磨损率降低了约80％。 最后，通过XPS分析和Raman光谱分析，研究了Ti-MoS2薄膜的化学成分和结构。结果表明，Ti-MoS2薄膜具有较高的MoS2晶格配对度和化学惰性，这为其出色的摩擦学性能提供了基础。 总之，本研究成功地制备了Ti-MoS2自润滑薄膜，并且证明了这种共溅射方法的可行性。这种Ti-MoS2薄膜具有潜在的应用价值，例如在摩擦副和润滑材料方面。