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一种离子溅射镀膜机修正板机构.pdfVIP

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  • 2023-09-12 发布于四川
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一种离子溅射镀膜机修正板机构.pdf

    本实用新型涉及到电镀技术领域，尤其涉及一种离子溅射镀膜机修正板机构。该离子溅射镀膜机修正板机构的膜厚修正板的侧面直接通过修正板固定螺钉固定在阴极磁控靶上，无需电机带动转动，节省了空间和电机的能量消耗，提高了膜厚修正的效率。此外，该离子溅射镀膜机修正板机构结构简单，对镀膜的厚度调节简单准确，适合推广使用。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210394506 U (45)授权公告日 2020.04.24 (21)申请号 20192

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