电弧离子镀nc-MeNα-Cu纳米复合超硬薄膜研究的中期报告.docxVIP

电弧离子镀nc-MeNα-Cu纳米复合超硬薄膜研究的中期报告 本研究的中期报告主要介绍了电弧离子镀nc-MeNα-Cu纳米复合超硬薄膜的制备方法和初步实验结果。 制备方法： 1. 制备原料：采用化学气相沉积法制备出MeNα/Cu纳米复合材料作为靶材，其中Me为W或Ti。 2. 清洁表面：将不锈钢基片进行机械打磨和去油清洗。 3. 预处理：将基片放入真空室内进行预处理，如常规烘烤、荧光屏检测以及离子轰击清洗等过程。 4. 薄膜制备：利用电弧离子镀技术，在真空室内以靶材MeNα/Cu纳米复合材料为源材料，进行镀膜，控制氩气压力、工作气压、电流等参数，最终获得nc-MeNα-Cu纳米复合超硬薄膜。 初步实验结果： 1. X射线衍射结果表明，薄膜具有高度晶化，且晶粒细小，平均晶粒大小约为10-20纳米。 2. 扫描电镜结果表明，薄膜表面光滑、致密。 3. 硬度测试结果表明，薄膜的硬度约为36-42 GPa。 4. 摩擦学性能测试结果表明，薄膜的摩擦系数低、磨损率小。 综合来看，初步实验结果表明，电弧离子镀nc-MeNα-Cu纳米复合超硬薄膜制备工艺可行，薄膜硬度高、表面致密光滑、摩擦学性能优异，是一种应用潜力很大的新型超硬材料。