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制备二维晶体材料的化学气相沉积设备.pdfVIP

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  • 2023-09-13 发布于四川
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制备二维晶体材料的化学气相沉积设备.pdf

    本实用新型公开一种制备二维晶体材料的化学气相沉积设备包括：包括：真空室；所述真空室内设置有样品台和气体分配器；第一控温室，用于放置第一原材料，并用于将所述第一原材料加热以产生第一原材料的蒸气；第一进气管，连通所述第一控温室和所述气体分配器；第二控温室，用于放置固态或液态第二原材料，并用于所述第二原材料加热以产生第二原材料的蒸气；第二进气管，连通所述第二控温室和所述气体分配器；第三进气管，一端用于连通所述第二原材料的气体源，另一端连通所述气体分配器。本实用新型技术方案具有二维晶体材料制备精度高，产

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210394591 U (45)授权公告日 2020.04.24 (21)申请号 20192

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