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本发明提供一种固晶接续方法及装置，属于固晶技术领域，所述方法包括：对当前承载盘进行旋转调整，以使当前承载盘上的固晶点位水平设置；根据目标固晶点位的机械坐标和目标路径点的机械坐标，确定当前承载盘的偏移量；根据所述偏移量，对当前承载盘进行位置调整，以接续所述固晶排列路径进行固晶。本发明提供的固晶接续方法及装置，在更换承载盘之后，对更换后的当前承载盘先后进行水平调整和偏移补偿的操作，实现承载盘的位置矫正，从而可以在固晶时接续上之前的排列路径，无须人工介入，实现有效快捷的固晶自动接续，提升了固晶的自动化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116741689 A
(43)申请公布日 2023.09.12
(21)申请号 202310699586.4 H01L 33/48 (2010.01)
(22)申请日 2023.06.
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