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晶圆片收纳机构.pdfVIP

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  • 2023-09-13 发布于四川
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晶圆片收纳机构.pdf

    本实用新型涉及一种晶圆片收纳机构，包括支架及设置在支架上的导向块、升降动力件、托架及收纳盒，所述导向块固定在支架顶端，导向块顶端开设有可供晶圆片通过的滑道，所述滑道与水平面相倾斜，所述托架对应设置在滑道的出口端，所述升降动力件与托架连接，所述收纳盒固定在托架上，收纳盒上开设有若干可供晶圆片插入的插槽，升降动力件可驱动托架及收纳盒上升或下降。该晶圆片收纳机构通过导向块及收纳盒的有效配合，能使晶圆片自动下滑进入收纳盒内收集，自动化程度高，加工效率较高，且不会损伤晶圆片，保证了产品质量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210391967 U (45)授权公告日 2020.04.24 (21)申请号 20192

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