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一种绕线式电弧靶装置.pdfVIP

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  • 2023-09-13 发布于四川
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一种绕线式电弧靶装置.pdf

    一种绕线式电弧靶装置，包括装置本体、密封端盖和水冷端头；密封端盖设置在装置本体的两端；装置本体的一端穿过密封端盖与水冷端头连接，且水冷端头上设置动力组件；装置本体整体呈圆柱形；装置本体包括靶材层和磁钢组件；靶材层设置在磁钢组件的外周；靶材层两端与密封端盖密封设置，以在靶材层内部形成密封空间；磁钢组件包括连接件、磁钢和线圈；连接件呈筒状，连接件设置在靶材层的内周；线圈缠绕在磁钢的外周，线圈的外周压紧连接件的内周。本实用新型中，提高了靶材的利用率，为镀膜行业带来了直接经济利益，减少了浪费，降低了成本

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210394509 U (45)授权公告日 2020.04.24 (21)申请号 20192

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