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- 2023-09-13 发布于四川
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本实用新型公开了一种具有光纤监测功能的FRAME检查仪，涉及半导体芯片检查仪技术领域，为解决无法对料盒和夹具的位置状态进行检测，当其不在设备上时，设备依然运行存在误操作的问题。所述支撑底板的上方安装有直线模组，所述直线模组前端的一侧安装有限位机构，所述直线模组的一侧安装有电箱，所述电箱的上方安装有显微镜安装座，所述直线模组的一侧设置有料盒架光纤传感器，所述显微镜安装座的一侧设置有夹具光纤传感器，所述直线模组的前端设置有料盒架，所述料盒架的中间位置处设置有料盒架光纤探头槽，所述料盒架光纤探头槽的内
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210392859 U
(45)授权公告日
2020.04.24
(21)申请号 20192
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