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本实用新型公开了一种真空镀膜机的靶材绝缘保护结构，包括阴极座，所述阴极座的外侧壁下端面上卡接有靶材绝缘套，所述靶材绝缘套包括有卡套，所述卡套的外侧壁靠上端的位置设置有第一护套槽，所述卡套的外侧壁底部的位置设置有第二护套槽，所述卡套的上端面固定连接有连接套，所述连接套的下端面两侧位置开设有固定盘安装槽，所述连接套上端面固定连接有顶部卡环。本实用新型中，通过设置在靶材绝缘套外侧增加保护套，有效隔绝长时间工作时内部靶材高温颗粒溅射到靶材绝缘套上，防止高温颗粒烧损靶材绝缘套导致靶材绝缘套与内部靶材间连电
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219670632 U
(45)授权公告日 2023.09.12
(21)申请号 202320747950.5
(22)申请日 2023.04.07
(73)专利权人 龙口市比特真空技术有限公司
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