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- 2023-09-14 发布于四川
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一种通过在等离子体限制体积中对等离子体点火来确定等离子体系统的健康状况的设备和方法，利用点火电路生成点火信号，并在所述等离子体限制体积附近的偏置区域与接地区域之间施加所述点火信号。感测所述点火电路中的参数，并将所感测到的参数与第一参数阈值比较。如果所述感测到的参数与所述第一电压阈值不同，则确定与所述等离子体限制体积相关的条件，并可以采取校正动作。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111052300 A
(43)申请公布日
2020.04.21
(21)申请号 201880
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