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本申请公开一种真空蒸镀成膜装置的电源机构及消磁方法，涉及真空镀膜领域，真空蒸镀成膜装置包括发射机构、盛放机构、以及偏转聚焦机构；电源机构包括：与盖板相连用于为盖板提供负高压电的第一电源模块；与灯丝相连用于为灯丝供电的第二电源模块；与电磁铁相连用于为电磁铁供电的第三电源模块；与第三电源模块电连接的消磁模块，用于使电磁铁消磁；与第一电源模块、第二电源模块、第三电源模块和消磁模块分别电连接的控制器，控制器用于控制第一电源模块、第二电源模块、第三电源模块和消磁模块。本说明书所提供的真空蒸镀成膜装置的电源
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115863126 A
(43)申请公布日 2023.03.28
(21)申请号 202211560778.9 C23C 14/30 (2006.01)
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