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本实用新型提供一种标定装置及其控制系统,所述标定装置用于标定MEMS光纤压力传感器,包括:控制单元、传感器单元、下压机构和治具平台;下压机构与控制单元连接,并在控制单元的驱动下向靠近治具平台的方向运动或向远离治具平台的方向运动;所述的MEMS光纤压力传感器通过安装治具固定于所述的治具平台,并接收下压机构传递的压力载荷;所述的传感器单元包括压力监测传感器,所述的压力监测传感器的测量精度高于所述的MEMS光纤压力传感器的测量精度;所述的安装治具可拆卸的安装于所述的治具平台。所述标定装置能够实时、准确
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219675350 U
(45)授权公告日 2023.09.12
(21)申请号 202320447010.4
(22)申请日 2023.03.10
(73)专利权人 上海拜安传感技术有限公司
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