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本实用公开了一种脉冲磁控管阴极结构,包括阴极组件和镍海绵氧化物阴极,所述镍海绵氧化物阴极设置在阴极组件上,所述阴极组件包括阴极基金属端和阴极过渡端,所述阴极基金属端1与阴极过渡端通过连接部固定连接;本实用新型将现有的一体式阴极结构改为两体式结构后,阴极基金属零件加工难度得以降低,灌粉后油压压制合格率也有所提高,关键是在高温烧结精磨时由于总的长度减少,阴极磨加工后的同轴度及盐层的一致性得到了很好的提高。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219677208 U
(45)授权公告日 2023.09.12
(21)申请号 202223230473.X
(22)申请日 2022.12.01
(73)专利权人 江西景光电子有限公司
地址 3
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