一种适用于空间环境的高效红外宽光谱减反射膜.pdfVIP

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2023-09-14 发布于四川
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一种适用于空间环境的高效红外宽光谱减反射膜.pdf

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本发明公开了一种适用于空间环境的高效红外宽光谱减反射膜，该减反射膜是在红外透镜或窗口基底上，以Ge、YbF3为高低折射率材料进行主膜系构建，以ZnS为粘合层改善基底与膜层材料间的结合特性，辅以最外层ZnS为保护层提高减反射膜的空间环境使用可靠性。膜系设计采用考虑介质吸收的高低折射率交替膜系设计方法辅以粘合层，获得满足技术要求的设计结果。该宽光谱减反射膜在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺，能够实现对2‑16μm波段能量高效透射，同时具有良好的空间环境可靠性，适合于多

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115201941 A (43)申请公布日 2022.10.18 (21)申请号 202110392524.X (22)申请日 2021.04.13 (71)申请人中国科学院上海技术物理研究所地址