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本实用新型提供了一种基于X‑ray检测机台的取放片装置及取放片系统，其中取放片装置包括：底座、第一支撑部、第一定位销、第二支撑部、第二定位销、Z轴、U轴和中转叉手，本申请通过利用第一定位销在第一定位轨道内运动以使Z轴带动所述中转叉手沿Z轴方向移动，以及通过利用第二定位销在第二定位轨道内运动以使所述中转叉手在XY平面上绕所述U轴转动，实现中转叉手在Z轴方向和XY平面内的移动定位，从而使得放置在中转叉手上的8/12寸以及其他尺寸的晶圆能够精确安全地放置到X‑ray检测机台上或者使得放置在X‑ray检
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219677233 U
(45)授权公告日 2023.09.12
(21)申请号 202320358534.6
(22)申请日 2023.02.28
(73)专利权人 华虹半导体（无锡）有限公司
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