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检查单元以及检查系统.pdfVIP

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  • 2023-09-14 发布于四川
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检查单元以及检查系统.pdf

    本实用新型提供了一种检查单元以及检查系统，该检查单元包括：连接体，所述连接体上设置有开孔；且所述连接体用于与自动测试设备相连，其中，所述自动测试设备用于对晶圆进行检测；光源，所述光源设置于所述开孔内；探针卡；所述探针卡与所述连接体相连，所述探针卡上设置有用于供光线穿过的透射部；探针台，所述探针台上设置有用于容置晶圆的容置部，所述容置部在所述光线的传播方向上位于所述透射部的下游；配线板，所述配线板与所述弹簧针座相对设置，所述配线板背对所述弹簧针座的一侧用于与所述自动测试设备相连。本实用新型提供了一

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210427645 U (45)授权公告日 2020.04.28 (21)申请号 20192

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