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一种制造晶体管显示面板的方法以及晶体管显示面板,所述方法包括在基板上形成多晶硅层;通过图案化所述多晶硅层形成有源层;形成覆盖所述基板和所述有源层的第一绝缘层;通过使用抛光装置抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层;以及形成接触所述第一绝缘层和所述有源层的第二绝缘层,其中通过抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层包括在所述第一绝缘层的表面上涂布第一浆料,所述第一浆料降低所述有源层的抛光速率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 107731852 A
(43)申请公布日
2018.02.23
(21)申请号 20171
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