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本实用新型提供一种基板处理装置，能够缩短从喷嘴去除剩余的处理液所需的时间，并且能够一边抑制被去除的处理液的飞散一边回收处理液。回收从喷嘴去除的剩余的处理液的处理液回收部具有：容器，呈上方开放且具有比喷出口的长度方向的尺寸大的宽度的箱形，在第一喷嘴待机位置设置在喷出口及处理液去除部的下方；膜，呈在长度方向上具有比喷出口大的尺寸的带状，在与长度方向正交的宽度方向上，中央部与容器的内底面抵接并且两端部立起，从下方包围处理液去除部。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210411380 U
(45)授权公告日
2020.04.28
(21)申请号 20192
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