CN214792568U旋转靶材脱脂装炉装置.pdfVIP

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214792568 U (45)授权公告日 2021.11.19 (21)申请号 202120285875.6 (22)申请日 2021.02.01 (73)专利权人 长沙壹纳光电材料有限公司 地址 410000 湖南省长沙市金洲新区澳洲 路068号 (72)发明人 刘永成 郭梓旋 莫国仁 谭宏  陈明飞 龙泷 陈明高 王志杰  江长久  (74)专利代理机构 广州嘉权专利商标事务所有 限公司 44205 代理人 伍传松 (51)Int.Cl. F27D 7/06 (2006.01) 权利要求书1页 说

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