CN214792568U旋转靶材脱脂装炉装置.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214792568 U (45)授权公告日 2021.11.19 (21)申请号 202120285875.6 (22)申请日 2021.02.01 (73)专利权人 长沙壹纳光电材料有限公司 地址 410000 湖南省长沙市金洲新区澳洲 路068号 (72)发明人 刘永成　郭梓旋　莫国仁　谭宏　 陈明飞　龙泷　陈明高　王志杰　 江长久　 (74)专利代理机构 广州嘉权专利商标事务所有 限公司 44205 代理人 伍传松 (51)Int.Cl. F27D 7/06 (2006.01) 权利要求书1页 说