CN109267009B一种抗低温高电阻率ITO导电膜制备方法.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 109267009 B (45)授权公告日 2020.12.15 (21)申请号 201811015139.8 C23C 14/58 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01) (22)申请日 2018.08.31 H01B 13/00 (2006.01) (65)同一申请的已公布的文献号 (56)对比文件 申请公布号 CN 109267009 A WO 2