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硕士学位论文 慢波结构微铣削机床数控软件开发 及加工工艺研究 DEVELOPMENT OF CNC SOFTWARE FOR SLOW- WAVE STRUCTURE MICRO-MILLING MACHINE AND PROCESSING TECHNOLOGY RESEARCH 韩鹏宇 哈尔滨工业大学 2019 年6 月 万方数据 国内图书分类号:TG596 学校代码:10213 国际图书分类号:621.9 密级:公开 工程硕士学位论文 慢波结构微铣削机床数控软件开发 及加工工艺研究 硕士研究生:韩鹏宇 导 师:吴春亚副教授 申 请 学 位:工程硕士 学 科:机械工程 所 在 单 位:机电工程学院 答 辩 日 期:2019 年6 月 授予学位单位:哈尔滨工业大学 万方数据 Classified Index: TG596 U.D.C: 621.9 Dissertation for the Master Degree in Engineering DEVELOPMENT OF CNC SOFTWARE FOR SLOW- WAVE STRUCTURE MICRO-MILLING MACHINE AND PROCESSING TECHNOLOGY RESEARCH Candidate : Han Pengyu Supervisor : A/Prof. Wu Chunya Academic Degree Applied for : Master of Engineering Speciality : Mechanical Manufacturing and Automation Affiliation : School of Mechatronics Engineering Date of Defence : June, 2019 Degree-Conferring-Institution : Harbin Institute of Technology 万方数据 哈尔滨工业大学工程硕士学位论文 摘 要 作为太赫兹辐射源器件中的核心器件,慢波结构的工作性能受到表面质量和 加工精度的影响。然而慢波结构具有结构复杂且深宽比较大的特点,且常用材料弥 散无氧铜相较于传统材料的加工特性具有较大的差异。因此,为加工出满足精度和 表面质量要求的慢波结构并提高加工效率,本文针对

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