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光刻机光罩传送机器人关节模组制动装置.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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光刻机光罩传送机器人关节模组制动装置.pdf

    本申请提供一种光刻机光罩传送机器人关节模组制动装置，包括：一制动器外壳；一组电磁线圈，设置于制动器外壳内，用于在通电时提供电磁力；一组弹簧，其主体设置于制动器外壳内；一衔铁，设置于制动器外壳下方，在通电时吸附于电磁线圈处；一第一摩擦片，设置于衔铁下方；一制动盘，设置于第一摩擦片下方，通过一轴套与机器人的传动轴相连接；一第二摩擦片，设置于制动盘下方；一法兰盘，第二摩擦片安装在法兰盘上部；一组转速传感器，设置于法兰盘下方，用于实时监控传动轴的转速；一前端盖，作为制动装置的外壳组成部分。通过本申请，在

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116749239 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310798616.7 (22)申请日 2023.06.30 (71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司 地址

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