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一种半导体镀膜电阻检测装置.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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一种半导体镀膜电阻检测装置.pdf

    本实用新型提供了一种半导体镀膜电阻检测装置，其包括支架、第一运输部、第二运输部、检测部和控制器，第一运输部和第二运输部并列设置，检测部置于第一运输部和第二运输部之间，检测部相对支架旋转设置，检测部包括支撑柱、转盘和多个伸缩吸嘴，支撑柱一端固定连接支架，另一端旋转连接转盘，多个伸缩吸嘴靠近转盘边缘阵列设置，且伸缩吸嘴置于第一运输部和第二运输部的上方，控制器固定连接。当电阻移动至检测部时，控制器控制伸缩杆垂直移动，真空泵抽取真空，将电阻吸附贴紧2个导电块，控制器通过2个导电块电性连接电阻并进行阻值测

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219695295 U (45)授权公告日 2023.09.15 (21)申请号 202321113842.9 (22)申请日 2023.05.10 (73)专利权人 深圳天成真空技术有限公司 地址

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