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一种X射线与电子束联用测试设备.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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一种X射线与电子束联用测试设备.pdf

    本申请公开了一种X射线与电子束联用测试设备，属于测试设备领域。X射线与电子束联用测试设备包括透射电镜装置、X射线强度探测装置、X射线发射装置和X射线荧光接收装置。透射电镜装置包括装置主体和样品支撑组件，样品支撑组件的一部分穿设于第一通孔设置在内腔内；X射线强度探测装置设置于装置主体外，且朝向第二通孔设置；X射线发射装置发射的X射线依次穿过气体电离室和第二通孔射向样品；X射线荧光接收装置的一部分穿设于第三通孔设置在内腔内，且朝向样品的方向设置。本申请提供的X射线与电子束联用测试设备，能够同时对样品

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116754593 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310747877.6 (22)申请日 2023.06.25 (71)申请人 深圳综合粒子设施研究院 地址 5

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