在单晶生产中常常会发生拉出来的晶棒出现扭曲的现象.docxVIP

在单晶生产中常常会发生拉出来的晶棒出现扭曲的现象。但是由于发生晶棒扭曲的原因不同，晶棒出现扭曲的位置也会各不相同。 ?????? 有的晶棒扭曲发生在拉晶过程中的任何位置。 ?????? 有的晶棒扭曲并不是每一次都有发生。 ?????? 有的晶棒扭曲发生的位置基本相同。 ?????? 有的晶棒扭曲从等径开始就一直扭曲到拉晶结束。 ?????? 这些各种各样的晶棒扭曲给正常的单晶生产确实带来了许多麻烦，如果一根辛辛苦苦拉出来的单晶却因为扭曲而造成了损失实在是一件令人头疼的烦恼事情。 ?????? 那么，怎么来解决这个和避免这个问题就成为了不少负责单晶生产和工艺人员的重要任务了。 ?????? 老黄头在这里给大家谈一些我个人的看法和意见，供朋友们参考。 ??????? 一般而言，造成晶棒出现不同扭曲的现象主要有以下一些原因。 ?????? 1、如果扭曲只是偶尔发生，并且出现扭曲的位置也不固定，在晶棒的任何位置都可能发生。在这种状况下，可以考虑是在拉晶过程中，局部位置出现了由于温度过低而拉速过快的现象，这个可以从拉速曲线和温度曲线上就可以看得到的。 ?????? 2、如果每一次的扭曲基本上都发生在同一个位置附近，就应该考虑到在拉晶参数上是否存在在某一个位置的温度跟不上导致了拉速过快而出现晶棒扭曲。或者坩埚跟踪太快导致拉速过快而出现扭曲。 ?????? 3、如果晶棒每一次从等径开始就一直扭曲