一种晶圆清洗装置及清洗方法.pdfVIP

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2023-09-16 发布于四川
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一种晶圆清洗装置及清洗方法.pdf

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本发明公开了一种晶圆清洗装置和晶圆清洗方法。该晶圆清洗装置包括：晶圆载台，包括晶圆支撑件，单点支撑待清洗晶圆以使其悬浮固定；以及清洗手臂，包括上沿臂，其前端设有第一喷嘴，以及对应设置于该上沿臂下方的下沿臂，其前端设有第二喷嘴，该待清洗晶圆悬浮固定于该上沿臂和该下沿臂之间，该上沿臂和该下沿臂保持同步位移，并且该第一喷嘴和该第二喷嘴同步出水，以使该待清洗晶圆的上表面和下表面的对应位置所受到的喷射压力相消。通过使用上述晶圆清洗装置，不仅能够减小晶圆清洗时支撑区域的遮挡面积，增大晶圆的清洗面积，而且还能

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116759342 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310871060.X H01L 21/02 (2006.01) (22)申请日 2023.07.