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一种用于石英晶片生产的浸蚀装置.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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一种用于石英晶片生产的浸蚀装置.pdf

    本实用新型提供一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，包括浸蚀槽和晶片盛放架，所述浸蚀槽内盛装有浸蚀液，所述浸蚀槽的底部设有电机，所述浸蚀槽内设有搅拌轴，所述搅拌轴与所述电机相连，所述搅拌轴上设有螺旋搅拌叶；所述晶片盛放架包括若干圆形阵列分布的内杆和外杆，所述外杆的顶部设有挂钩，所述挂钩挂在所述浸蚀槽的侧壁上，所述内杆和所述外杆之间固定连接有若干层环形的固定板，所述固定板顶部设有若干均匀分布的卡槽，所述固定板的底部设有与所述卡槽相通的通槽，所述通槽的截面积小于所述卡槽的截面积，所述卡槽内放置晶片。本实用

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210438640 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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