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一种光分路器晶圆贴片用工装.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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一种光分路器晶圆贴片用工装.pdf

    本实用新型公开一种光分路器晶圆贴片用工装，包括工装本体，工装本体包括底座、压板、压臂及支座，支座的中心处开有抽气孔，支座的上端面上设置有定位组件，压板能拆卸的连接于支座的上端面上，压板的中心处设置本体部，且压板位于本体部的外周开设有多个通孔以形成多条压筋，压板的上端面上连接有定位座，定位座的中心处连接有定位块，定位块上开有定位槽，底座上连接有固定座，压臂的一端铰接于固定座上，压臂的另一端设置有与定位槽相配合的压头。通过采用本实用新型进行晶圆与盖板的贴合，不仅能有效可靠的实现晶圆、盖板的定位，保证

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210440363 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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