一种基于弹性体磁致固态流变效应的抛光装置.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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一种基于弹性体磁致固态流变效应的抛光装置.pdf

本实用新型公开了一种基于弹性体磁致固态流变效应的抛光装置,包括抛光盘,所述抛光盘的下端面向上凹陷形成第一凹槽,所述第一凹槽内设置有永磁铁,所述抛光盘的上端面与主轴连接,所述抛光盘的下端设置有调整盘,所述调整盘上设置有与元件配合的磁流变弹性体,还包括与管道连通的喷嘴,所述喷嘴用于向元件表面喷射抛光液,所述喷射抛光液内设置有磨粒。该装置能够实现对大口径光学元件的超光滑、低缺陷抛光。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210435840 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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