一种芯片表面检测装置.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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本实用新型公开了一种芯片表面检测装置,包括支撑脚,所述支撑脚的上端固定连接有工作台,所述工作台上端面上固定安装有放置台,工作台上方通过连接杆固定安装有底板,所述底板上设置安装有移动座,所述移动座由驱动机构驱动,移动座的下端面上固定安装有相机和一组光源,所述光源环形阵列分布在相机的四周,工作台上转动安装有防护罩,所述防护罩上设置安装有自动开合机构。本实用新型是一种结构简单,自动化程度高,可减轻认为误差提高检测准确率的芯片表面检测装置。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210442278 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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