一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置.pdf

本实用新型公开了一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置,包括反应炉和支撑脚,所述反应炉的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚,所述反应炉的内壁上下两端均固接有加热板,所述加热板的左端均通过第二导线与外界电源相连通。该高纯硅生产用中心化合物的制备装置,通过电机、反应炉、第一端盖、第二端盖、螺钉、环形滤网、第一胶塞、进气管和粗硅粉之间的配合,使启动电机带动粗硅粉离心后通过进气管对反应炉内部注入氯化氢气体进行制备,解决了现有技术气体与粉末的接触不良导致反应效率较差的问题,通过反应炉、进气管、排气管、第三端

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210434483 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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