一种实时氦气回收装置.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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本实用新型公开了一种实时氦气回收装置,包括:用于与冷却管连通并收集冷却管排出的废料氦气的混合气体收集系统;用于对废料氦气进行初步提纯的一级膜分离机构;用于将一级膜分离机构提纯之后的一级氦气进行二级提纯的二级膜分离机构;用于将二级膜分离机构提纯后的提纯氦气进行收集并实时向冷却管提供提纯氦气的氦气回馈系统;用于控制混合气体收集系统、一级膜分离机构、二级膜分离机构以及氦气回馈系统动作的控制系统。本实用新型所提供的实时氦气回收装置可以实现对冷却管所排出氦气的回收,并对回收之后的氦气进行提纯处理,使提纯之

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210438414 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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