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用于三自由度调节平台的全路径精度校准装置.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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用于三自由度调节平台的全路径精度校准装置.pdf

    本实用新型公开了一种用于三自由度调节平台的全路径精度校准装置，包括：检测平台，以及设置于检测平台上的相机系统、光源系统、移动平台和激光干涉仪；所述移动平台包括移动平台组件以及辅助固定组件，移动平台组件包括直线模组、工作台和待校准平台，工作台与直线模组通过丝杆传动连接，丝杆旋转带动工作台和待校准平台直线运动；辅助固定组件包括固定在检测平台上的侧向定位组件和固定在工作台上的前后定位组件，侧向定位组件用于将待校准平台在其两侧方向夹紧或松开，前后定位组件用于将待校准平台在其前后方向夹紧或松开，侧向定位组

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210441824 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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