用于规避激光蚀刻始末点短路的金属线路结构.pdfVIP

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  • 2023-09-19 发布于四川
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用于规避激光蚀刻始末点短路的金属线路结构.pdf

一种用于规避激光蚀刻始末点短路的金属线路结构,包括在金属线路的始端或末端增加了蚀刻线路,蚀刻线路的数量至少为一条。在金属线路的始端或末端增加至少一根蚀刻线路,相当于在激光起始或末端激光发生能量偏弱的位置进行激光能量补偿,保障在该对应位置将金属镭断,本实用新型规避激光蚀刻金属制程中在起始或末端发生短路的问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210469856 U (45)授权公告日 2020.05.05 (21)申请号 20192

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