浅析电子厂房二次配制程排气系统施工要点论文会议文章.pdfVIP

浅析电子厂房二次配制程排气系统施工要点 ——**项目技术总结 **公司** 本项目是为**市**光电第 6 代 LTPS （OXIDE）·LCD/AMOLED显示面板生产线项目提供符合相关 要求的二次工艺制程排气系统，即从机台端至主系统 Takeoff 点之间 Hookup 排气配管施工。本专 业（通风专业）所负责的是 1 号建筑一、二层的二次配排风系统，主要系统有：工艺一般排风系统 （GEX）、酸废气排风系统 （SEX）、碱废气排风系统(AEX)、有机废气排风系统(VEX/SOX)、Stripper 排风系统(STX) 、CVD粉尘排风系统(CVD)、工艺补风系统(OA) 。由于二次配施工是直接与各种设备 打交道，施工质量是与后续厂房生产产品的效率和质量直接相关，所以施工过程中质量和节点的把 控为二次配施工重中之重。 （一）、材料规划 二次配施工中没有具体提前设计好的施