清洁方法、存储介质、驱动电路及半导体加工设备.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.61万字
约 14页
2023-09-20 发布于四川
举报
版权申诉

清洁方法、存储介质、驱动电路及半导体加工设备.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种反应腔的清洁方法、计算机可读存储介质、反应腔的驱动电路及半导体的加工设备。所述反应腔的清洁方法包括以下步骤：经由远程等离子体系统对所述反应腔进行初步清洁处理；对所述反应腔进行所述初步清洁处理及搅拌清洁处理的叠加处理，其中，所述搅拌清洁处理是由交替进行的顶部射频清洁处理和侧方射频清洁处理组成；以及终止所述初步清洁处理及所述顶部射频清洁处理，以对所述反应腔进行所述侧方射频清洁处理。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115491657 A (43)申请公布日 2022.12.20 (21)申请号 202211149178.3 (22)申请日 2022.09.21 (71)申请人拓荆科技股份有限公司地址 110