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本发明公开了一种部分集成光电振荡器，涉及微波光子信号产生领域。本发明包括光学环路和电学环路，光学环路包括采用光子引线连接的半导体激光器、光延迟线和光电探测器，电学环路包括电放大器、滤波器和功分器。本发明通过光子引线键合技术实现光电振荡器系统中光电器件的集成，从而减小光电振荡器系统的体积和重量，该种集成方案制备过程简单，有利于大规模生产。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116780312 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310905552.6
(22)申请日 2023.07.21
(71)申请人 中国电子科技集团
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