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本发明提供一种FDC二维规格监控系统的监控方法，提供机台内故障检测和分类系统文件，对故障检测和分类系统文件进行解析，提取机台数据；对不同时间每种类型的机台数据进行特征提取、进行数据分类以及根据数据分类后的类型设置所需的安全等级规格，将处理后的机台数据转换形成二维规格监控图，二维规格监控图的横坐标为时间，纵坐标为数值；利用显示单元显示二维规格监控图，二维规格监控图包括每种类型的机台数据及其对应的安全等级规格。本发明对有效的利用了FDC的原始数据，针对不同时间点自动计算该点的安全等级规格；本发明覆盖
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116776123 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310769067.0
(22)申请日 2023.06.27
(71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司
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